Los tubos de vacío cerámicos de alúmina, como componentes principales de los equipos semiconductores, presentan las siguientes características técnicas y escenarios de aplicación:
Tipos de producto y características técnicas
1.Mangas porosas al vacío de materias cerámicas:Fabricados con materiales como alúmina o carburde sili, con una porosidad del 30% al 50% y tamaños de poros en el rango de micrones, logrando una fuerza de sucy permeabilidad uniformes. Poseen una alta plan, resistencia al desgaste y estabilidad química, reduciendo los arañazos de la superficie de la oblea y la contaminación de partículas.
2.Aplicaciones típicas:Adel, corte, molienda y otros procesos de la oblea, adecuados para obleas de 2-12 pulgadas y requisitos no estándar personalizados.
Escenarios de aplicación en la fabricación de semiconductores
1.Procesos de Front-end:
Máquinas de litografía: se utilizan como componentes de plataformas móviles, trabajando con mandriles electrostáticos para lograr una precisión de posicionamiento de nivel nanométrico.
Máquinas de grabado: utilizadas en cámaras, placas de distribución de gas, etc., para soportar ambientes de grabado por plasma.
2.Embalaje final:
Resolver el reto de manejar obleas ultrafinas y evitar la contaminación de microgrietas causada por la sujeción mecánica.
Supports custom specifications.
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