Las características y características técnicas relacionadas del brazo robótico de manipulación al vacío de cerámica de alúmina son las siguientes:
Ⅰ. Características principales
1. Alta pureza y aislamiento: el brazo robótico cerámico de alúmina tiene una pureza de más del 99,5% y posee excelentes propiedades de aislamiento (resistividad > 10¹⁴ Ω·cm), evitando eficazmente la interferencia electrostática y haciéndolo adecuado para el manejo de componentes electrónicos sensibles como obleas semiconductoras.
2. Alta temperatura y resistencia a la corrosión: el material puede funcionar de forma estable a altas temperaturas de hasta 1600℃ y tiene una fuerte resistencia a la corrosión química, por lo que es adecuado para el vacío, alta temperatura y ambientes de gas corrosivo.
3. Tecnología de mecanipreciso: Utilizando la tecnología de mecanipor control numérico CNC, se logra una precisión de nivel de micron(como 0,1 micra rugode la superficie), cumpliendo con los estrictos requisitos de cero poros y cero grietas para la manipulación de obleas.
4. Diseño no contaminante: las propiedades no metálicas evitan la liberación de iones metálicos, y combinado con el recubrimiento antiestático de Teflon opcional, reduce aún más el riesgo de descarga electrostática y contaminación de partículas.
Ⅱ. Ventajas tecnológicas
1. Rendimiento de los materiales: la dureza de Mohs alcanza 9, y la resistencia al desgaste es superior al metal; Tiene un bajo coeficiente de expansión térmica (8-9 × 10⁻ / ⁶) y una fuerte resistencia al choque térmico.
2. Diseño estructural: la estructura hueca se logra a través de la tecnología de Unión, diseño ligero de equilibrio y resistencia mecánica.
3. Capacidades de personalización: soporta el procesamiento basado en dibujos y muestras proporcionados, adaptándose a diferentes tamaños y requisitos funcionales.
Ⅲ. Escenarios de aplicación
1. Fabricación de semiconductores: los brazos cerámicos de vacío utilizados para el manejo de obleas deben cumplir con los requisitos de limpieza, nivel de vacío y estabilidad dimensional.
2. Manejo de componentes electrónicos: posicionamiento preciso de componentes sensibles en ambientes corrosivos y de alta temperatura, evitando daños por descarga electrostática.
3. Automatización Industrial: brazos robóticos personalizados adaptados a las necesidades de manejo de precisión, tales como brazos de horquilla de cerámica de alúmina y efecfinales.
Supports custom specifications.
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