Las exigencias de automatización en las Fabs modernas
Los robots de transferencia de obleas conectan cámaras de proceso en herramientas de clúster. Estos sistemas de robot deben funcionar de forma limpia y continua. La integración de bolas de rodde nitrurde de Silien rodhíbridos mejora la precisión y el control de la contaminación.
Compatibilidad con las salas limpias
La contaminación de partículas metálicas puede comprometer el rendimiento. Elementos rodantes cerámicos:
1, resistir el desgaste
2, generar menos partículas
3, mantener superficies lisas con el tiempo
Esto es compatible con los estrictos requisitos de las salas limpias.
Dinámica ligera para un tiempo de ciclo más rápido
La reducción de la masa del elemento rodante mejora:
1, respuesta Servo
2, la aceleración
3, repetibilidad posicional
Esto aumenta el rendimiento de obleas en fabs automatizados.
Resistencia a la corrosión y a la fatiga
Los sistemas robóticos pueden encontrar una exposición química menor. La estabilidad química del nitrurde silipreserva la integridad de los roda largo plazo.
Fiabilidad a largo plazo
El funcionamiento continuo las 24 horas del día, los 7 días de la semana prolonga la vida útil. Los rodamientos cerámicos híbridos ofrecen una resistencia a la fatiga mejorada en comparación con los diseños totalmente de acero.
