Requisitos relativos a la compatibilidad con las salas limpias
Los entornos de fabricación de semiconductores requieren materiales ultralimpios. Los componentes de rodutilizados en robots de manipulación de obleas y bombas de vacío deben generar partículas mínimas. Las bolas de nitrurde de silipermiten que los elementos rodantes cerámicos cumplan con las normas de control de contaminación.
Propiedades no magnéticas y no corrosivas
El nitrurde siliofrece:
1, comportamiento no magnético
2, resistencia a los agentes químicos
3, la estabilidad en condiciones de vacío
Estas propiedades son esenciales en litografía y sistemas de procesamiento por plasma.
Generación de partículas reducidas
En comparación con las bolas de acero, los elementos rodantes de cerámica presentan:
1, reducir el desgaste de los escombros
2, reducción de la adhesión de la superficie
3, acabado de superficie estable
Los blanks de alta calidad garantizan un mínimo de defectos en el subsuelo que podrían conducir a microchipping.
Rendimiento en bombas de vacío
Los sistemas de vacío funcionan a alta velocidad y bajo régimen de lubric. El nitrurde silireduce la fricción y mantiene la estabilidad dimensional incluso cuando las películas lubricson delgadas.
Preparación y acabado de superficies
La integridad de la pieza en bruto determina la eficiencia del acabado. Las aplicaciones de semiconductores requieren superficies finales extremadamente lisas, lo que requiere una geometría uniforme de pre-grin.
conclusión
Las bolas de nitrurde de silison fundamentales para los sistemas de rodsemisensibles a la contaminación. Su pureza estructural apoya el acabado de precisión requerido en equipos avanzados de fabricación de chips.
